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场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）
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    日本电子JSM-6330F型场发射扫描电子显微镜，是一种最新型的高分辨扫描电镜。与一般扫描电镜相比，它能以更高的分辨率观察固体样品表面显微结构和形貌，是研究材料表面结构与性能关系的重要工具。广泛应用于物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验。

    主要附件：大样品台；大样品气锁装置。

主要技术指标

分辨率：1.5 nm (15kV时)，5 nm (5kV时)；放大倍数：×10 ~ 500000。
日期: 2004-10-15
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